Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke.pdf

Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke PDF

Katja Steidel

In der Elektronenstrahllithografie existieren die Belichtungskonzepte Gaussian-Beam und Variable-Shaped-Beam (VSB), die bisher auf Hochauflösung respektive Durchsatz optimiert sind. In dieser Arbeit wird der experimentelle Kreuzvergleich beider Belichtungskonzepte mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Lacksysteme präsentiert. Als quantitativer Parameter wurde die Gesamtunschärfe eingeführt, die sich durch quadratische Addition der auflösungslimitierenden Fehlerquellen, also Coulomb-Wechselwirkungen (Strahlunschärfe), Lackprozess (Prozessunschärfe) und Proximity-Effekt (Streuunschärfe), ergibt. Grundlage ist die Anpassung oder Neuentwicklung spezieller Methoden wie Kontrast- und Basedosebestimmung, Doughnut-Test, Isofokal-Dosis-Methode für Linienbreiten und Linienrauheit sowie die Bestimmung der Gesamtunschärfe unter Variation des Fokus. Es wird demonstriert, dass sich mit einer kleineren Gesamtunschärfe die Auflösung dichter Linien verbessert. Der direkte Vergleich der Gesamtunschärfen beider Belichtungskonzepte wird durch die variable Strahlunschärfe bei VSB-Schreibern erschwert. Es wird gezeigt, dass die Prozessunschärfe den größten Anteil der Gesamtunschärfe stellt. Außerdem spielt die Streuunschärfe bei Lackdicken kleiner 100 nm und Beschleunigungsspannungen von 50 kV oder größer keine Rolle.

Fraunhofer-Publica List: Nanoelektronik Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke Steidel, K. Dissertation

9.39 MB DATEIGRÖSSE
9783839602102 ISBN
Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke.pdf

Technik

PC und Mac

Lesen Sie das eBook direkt nach dem Herunterladen über "Jetzt lesen" im Browser, oder mit der kostenlosen Lesesoftware Adobe Digital Editions.

iOS & Android

Für Tablets und Smartphones: Unsere Gratis tolino Lese-App

Andere eBook Reader

Laden Sie das eBook direkt auf dem Reader im www.restrukturierung-3w-power.de Shop herunter oder übertragen Sie es mit der kostenlosen Software Sony READER FOR PC/Mac oder Adobe Digital Editions.

Reader

Öffnen Sie das eBook nach der automatischen Synchronisation auf dem Reader oder übertragen Sie es manuell auf Ihr tolino Gerät mit der kostenlosen Software Adobe Digital Editions.

Aktuelle Bewertungen

avatar
Sofya Voigtuh

Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen ...

avatar
Mattio Müllers

Bestseller Prime Video AmazonBasics Neuerscheinungen Hilfe Gutscheine Küche, Haushalt & Wohnen Elektronik & Foto Geschenkideen Computer Verkaufen Sport & Freizeit Pantry Gratis-Versand Shopping-Tipps. Bücher Erweiterte Suche Stöbern Amazon Charts Bestseller & mehr Neuheiten Hörbücher Fremdsprachige Bücher Taschenbücher Fachbücher Schulbücher Angebote

avatar
Noels Schulzen

(1) In der G20-Erklärung zur Stärkung des Finanzsystems vom 2. April 2009 wurden international abgestimmte Anstrengungen gefordert, um Transparenz, Rechenschaftspflicht und Regulierung durch eine quantitative und qualitative Verbesserung der Kapitalbasis im Bankensystem zu stärken, sobald die wirtschaftliche Erholung sichergestellt ist. Sonografie – Wikipedia

avatar
Jason Leghmann

Echtzeit-Untersuchungen der ferroelektrischen ...

avatar
Jessica Kolhmann

Im Anschluss führt der Arzt eine körperliche Untersuchung durch. Der Arzt achtet zum Beispiel darauf, ob das Empfindungsvermögen (Sensibilität) im Gesichtsbereich normal ist. Weitere Untersuchungen müssen klären, ob eine auslösende Erkrankung der Trigeminusneuralgie zugrunde liegt oder nicht. Symptomatische und klassische Zelluläre Veränderungen und Anpassungsreaktionen - Wissen ...